液晶パネル製造のTFT(薄膜トランジスタ)パターニングで行われる成膜に関し、神戸製鋼とコベルコ科研が供給するアルミニウム・ネオジウム合金のターゲット材が世界シェア8割で今や業界標準とのことです。

液晶パネルの画素に付くTFT(薄膜トランジスタ)のパターン形成では、ガラス基板への成膜とエッチングがくり返されますが、最初の成膜で使われるのがアルミニウムにレアメタルのネオジウムを添加した[Al-Nd合金のターゲット材料]とのことです。TFTゲート配線の成膜を従来のタンタルやクロムからアルミに材質変更できたことで抵抗値が低くなりました。アルミゲートがITO(インジウム・スズ酸化物)膜と接すると酸化してしまうので、モリブデンやクロムのバリアー層で被覆した２層構造にしてあるそうです。